半导体/FPD检查显微镜 规格
MX61L
MX61
光学系统
UIS2光学系统(无限远校正)
机身
观察方法
明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光
反射/透射
照明装置
机身一体型(明视场,暗视场+1选件)
照明系统
反射照明
100 W卤素/100 W水银/75 W氙
透射照明
纤维光导
对焦单元
电动/手动
手动
行程
32 mm
分辨率/微调灵敏度
微调旋钮转动1周移动0.1 mm
最大样本高度
30 mm
物镜转换器
电动型
明视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉5孔
明暗视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉中心输出5孔
手动式
-
载物台
14×12英寸右下手柄: 356(X)×305(Y)mm (透射照明范围356×284 mm)
8×8 英寸右下手柄: 210(X)×210(Y)mm (透射照明范围189×189 mm) 6×6 英寸右下手柄: 158(X)×158(Y)mm
观察筒
广角视场 (视场数22)
倒置
双目/三目观察筒
正像
三目观察筒
超宽视场 (视场数26.5)
倾斜三目观察筒
附件单元
DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载
外形尺寸
710(W)×843(D)×507(H)mm (标准组合)
509(W)×843(D)×507(H)mm (标准组合)
重量
51 kg(标准组合)
40 kg(标准组合)