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【内容摘要】工业用显微镜

半导体/FPD检查显微镜 规格

MX61L

MX61

光学系统

UIS2光学系统(无限远校正)

机身

观察方法

明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光

反射/透射

反射/透射

照明装置

机身一体型(明视场,暗视场+1选件)

照明系统

反射照明

100 W卤素/100 W水银/75 W氙

透射照明

纤维光导

对焦单元

电动/手动

手动

行程

32 mm

分辨率/微调灵敏度

微调旋钮转动1周移动0.1 mm

最大样本高度

30 mm

物镜转换器

电动型

明视场微分干涉6孔

明暗视场微分干涉5孔

明暗视场微分干涉6孔

明暗视场微分干涉中心输出5孔

手动式

-

载物台

行程

14×12英寸右下手柄:
356(X)×305(Y)mm
(透射照明范围356×284 mm)

8×8 英寸右下手柄:
210(X)×210(Y)mm
(透射照明范围189×189 mm)
6×6 英寸右下手柄:
158(X)×158(Y)mm

观察筒

广角视场
(视场数22)

倒置

双目/三目观察筒

正像

三目观察筒

超宽视场
(视场数26.5)

倒置

三目观察筒

正像

倾斜三目观察筒

附件单元

DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载

外形尺寸

710(W)×843(D)×507(H)mm
(标准组合)

509(W)×843(D)×507(H)mm
(标准组合)

重量

51 kg(标准组合)

40 kg(标准组合)

 

点击数/观注度 13453
显微镜  
 
 
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