作者 鸿威广州实验台通风柜厂家  

洁净室按其气流状态来区分,主要分为乱流(非单向流)洁净室、单向流洁净室和辐流洁净室(也有称矢流洁净室的),这一节主要讨论乱流洁净室。前面已经指出,不论是哪一种洁净室,都是紊流流态。那为什么不都叫紊流洁净室呢?

乱流洁净室的名称是借用于日文,但是日文的乱流就是紊流的意思,而中国最早在《空气洁净技术措施》中正式采用的乱流一词是兼有紊流的含义而不同于流体力学上的紊流这一专有名词。国际上习惯称这种洁净室为非单向流洁净室。

所谓乱流洁净室,一般包括以下各种送风形式:

⑴高效过滤器顶送(有扩散板和无扩散板

⑵流线型散流器顶进

⑶局部孔板顶送

⑷侧送

具有这些送风形式的洁净室,如以雷诺数判断,显然属于紊流流态,但是如果把它们称为紊流洁净室就不合适。气流沿整个顶棚下送,室内速度达到0.25m/s 以上,这种室内的流动状态也是紊流,但在后面就会搞清楚,虽然这两种送风方式都造成室内紊流流态,但是就其净化室内空气的原理来说,却是根本不同的,后者属于单向流或平行流洁净室的净化原理。所以如果把前者称为紊流洁净室,则后者也应被包含进去了。

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乱流洁净室的主要特点  
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)  
 
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